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半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…
製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガ...
メーカー・取り扱い企業: 理研計器株式会社 本社
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