プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

をはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデルOCEAN HDX等の 分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。 半導体製造装置への組み込み等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。 【特長】 ■広帯域のスペクトル測定に対応 ■高い波長分解能 ■光ファイバでの簡易接続 ■ユーザフレンドリなソフトウェアOPwave+（カスタ...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社