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    イオン注入装置 ディスク再生サービス

    高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス

    スク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。 ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、 元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の 不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

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