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コンタミネーション対策を実現した軸封構造!
全密閉。 ○バリアガス供給により、固定環とシールリングが非接触。 ○シール部非接触のためシール面の摩耗がない。 ○シール部非接触のため摺動抵抗がなく、省エネに寄与。 ○固定環とシールリングの隙間を自動調整する自動隙間調整機能。 ○0回転~高速回転まで対応。 ○フッ素樹脂焼付コーティングとの併用で、メタル溶出防止を実現。...
メーカー・取り扱い企業: 日本フッソ工業株式会社
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半導体製造装置部品への適用に最適!特性をわかりやすく表で解説!
用途、廃ガス・廃液系に分類されます。 フッ素樹脂コーティングは熱可塑性樹脂のため、溶融焼き付けによって施工されていきます。つまり、表面は溶融によってレベリングしており、パーティクルが入り込める隙間は実質的には存在しません。 同様に、レベリングした表面は、フッ素樹脂の非粘着性を最大とし、洗浄液の付着・持ち出しを軽減し、洗浄効率を上昇させることができます。 以上より、フッ素樹脂コーティン...
メーカー・取り扱い企業: 日本フッソ工業株式会社
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