電子顕微鏡関連機器　電子線描画用パターン発生装置 SPG-724

お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。

電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。 電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEMに取付けることで、観察用のSEMが描画装置になるわけです。 SEM本体の他に必要なものは、ビームのオンオフを行うブランキング装置、露光量を測定するための電流計、描画パターンをブ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

高性能アクティブ磁場キャンセラー「AMC-331」

電子線応用装置を磁場変動から守ります！

電車、自動車、エレベータなどの磁性体の通過や電源などが原因である磁場変動は、電子顕微鏡のような電子ビーム応用装置などに悪影響を及ぼします。 アクティブ磁場キャンセラー「AMC-330」は、任意方向の磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変更を抑制するシステムです。 【特徴】 ○高性能 ○低コスト ○簡単...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社

電子顕微鏡での受託観察

走査型電子顕微鏡（ＦＥ-ＳＥＭ）による表面観察を受託いたします：分解能…

（日立） ・主な仕様 　倍率：　×100～300,000倍　（～100,000までは保証範囲） 　試料台サイズ：　15mm（径） 　加速電圧：　0.5～30ｋV ・機器の概略：試料表面に電子線を照射することで、試料表面からの反射電子を検出することにより、試料表面の形状を観察 ・試料サイズの条件：最大試料サイズ：　15mm（径）×高さ10mm以下 ・対象試料の条件：高分子材料、金属、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

アクティブ磁場キャンセラー『AMC-331』

特許機器の微振動測定技術が生んだ、高性能アクティブ磁場キャンセラーのご…

『AMC-331』は、電子線応用装置を磁場変動から守る、高性能アクティブ 磁場キャンセラーです。 磁場センサで検知した外乱磁場を、コントローラとヘルムホルツコイルの 組合せで制御することにより、外乱磁場の影響を抑制...

メーカー・取り扱い企業： 特許機器株式会社