真空蒸着装置『LA-V5050』

TEM･SEM･EPMA 用前処理装置/薄膜･電極膜作製装置としてお使…

ラボテック株式会社 の『LA-V5050』は、スタンダード抵抗加熱式真空蒸着装置です。 デスクトップ型低価格ターボ式真空蒸着装置、操作性重視のコンセプト設計製品です。 スピーディーに高真空状態が可能で TEM・SEM・EPMA用の前処理作製が可能です。 また、カートリッジホルダの選択で薄膜デバイス/電極膜作製装置として使用可能です。 【特長】 ■デスクトップ型 ■操作性重視 ...

メーカー・取り扱い企業： ラボテック株式会社

真空アーク溶解装置『NEV-AD03型』

手軽な母合金製作・高融点金属の溶解用に最適な超小型真空アーク溶解装置

『NEV-AD03型』は、高真空に排気後、不活性ガス置換えを行い、 各種水冷ハース上でアーク溶解を行う装置です。 非常にコンパクトな設計なので、電極操作や試料反転操作（特許）が容易 です。 正面扉が開閉式のため、炉内及び水冷ハースの掃除も簡単に行えます。 また、水冷ハースの配管は、炉外ワンタッチカプラで行いますのでハースの 取り付け、取り外しも容易です。 【特長】 ■超...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研