マイクロコンタクトプリンター『PA400S』

高精度コンタクト圧制御！簡易的な光ナノインプリント実験も可能

■露光性能（標準） 　・コリメータレンズ方式250Wφ80mm 均一度±15% 　・6mW/cm2 at365nm（アップグレード可能） ■アライメント方式 　・双対物CCD＆モニタ観察顕微鏡による目視アライメント ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…

できます。 コンパクトなので通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、 各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。 【特長】 ■裏面観察専用の双対物2視野CCD顕微鏡搭載 ■対物レンズ間隔最小16mm ■小型試料のアライメントまで可能 ■裏面アライメントに最適化されたフリーズワイプ処理装置を装備 ■試料アクセスに便利なフロントスライド式高精度アライメン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック