イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

を犠牲にすることなく、 　スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、 　プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能 ■体積比にて40％の省スペース、省電力化を実現（従来機「M-310HG」と比較） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社