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有機物の除去・クリーニング可能!ガス導入せず残留大気で処理するタイプよ…
当社の真空プラズマ製品は洗浄やエッチング、薄膜形成など幅広い研究で利用されています。 ガス導入型「YHS-G」は複数のガス導入に対応し流量調整や細かな処理条件の設定が 可能な高機能製品として研究や生産現場でも利用されています。 今回「YHS-O」をシリーズのラインナップに加え、 ガス導入は酸素に限定し、本体の機能や構造を見直して新たに開発しました。 当社従来品...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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