バリューインパクト有限会社
最終更新日：2020-12-08 15:45:41.0
インラインガスフィルター 製品ダイジェスト
基本情報インラインガスフィルター 製品ダイジェスト
バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 高純度ガス用インラインガスフィルター製品を掲載しています。
半導体製造プロセスガス向けに開発。複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので機器選定にご利用ください。
粒子捕捉率 ：99.9999999%
ろ過精度 ：0.0025μｍ
ハウジング ：SUS316L（シングルメルト材 / ダブルメルト材）
エレメント ：金属焼結タイプ、PTFE膜タイプ
内面仕上げ ：≦ Ra 5μ inch（0.127μｍ）
多孔率 ：60～70%（単位面積当たりの隙間の割合）
接続形状 ：メタルフェイスシール（MFS継手：VCR相当）、
ダブルフェルール継手
流量範囲 ：15～9,000SLPM
最高使用圧力 ：～21MPa（20℃時）：エレメント金属焼結タイプ
：～0.98MPa（20℃時）：エレメントPTFE膜タイプ
【特 長】
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
半導体プロセスガス用 インラインフィルター
半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。
フィルターエレメントは、2種類。
・SUS316L材金属焼結タイプ
・PTFE膜タイプ
をガス種に応じて選定いただけます。
メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので
機器選定にご利用ください。
【特 長】
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能
・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手
現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は
株式会社イプロスのAIによって表示されております。 （詳細を見る）
取扱会社 インラインガスフィルター 製品ダイジェスト
１．各種ステンレス製バルブ、フィッティングの輸入・販売 （下記メーカーの国内輸入元） ーTK-FUJIKIN社(韓国) ーDK-LOK社(韓国) ーEVERFIT TECHNOLOGY社(台湾) 【取扱製品】 自動溶接継手、ダブルフェルール継手、圧力調整器、インラインガスフィルター、ダイアフラムバルブ、プラグバルブ、ボールバルブ、ベローズバルブ、ニードルバルブ、メータリングバルブ、リリーフバルブなど ２．ガス配管、ガス供給設備の設計、製作
インラインガスフィルター 製品ダイジェストへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
