バリューインパクト有限会社半導体プロセスガス用　インラインフィルター

最終更新日：2023-01-27 17:23:12.0
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短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。

フィルターエレメントは、2種類。
・SUS316L材金属焼結タイプ
・PTFE膜タイプ
をガス種に応じて選定いただけます。

メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので
機器選定にご利用ください。

【特　長】
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能
・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手

現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。

※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は
株式会社イプロスのAIによって表示されております。

関連リンク - http://www.valueimpact.jp/TKF_GasFilter.html

基本情報半導体プロセスガス用　インラインフィルター

【仕　　様】
粒子捕捉率　　：99.9999999%
ろ過精度　　　：0.0025μｍ
ハウジング　　：SUS316L（シングルメルト材 / ダブルメルト材）
エレメント　　：金属焼結タイプ、PTFE膜タイプ
内面仕上げ　　：≦ Ra 5μ inch（0.127μｍ）
多孔率　　　　：60～70%（単位面積当たりの隙間の割合）

接続形状　　　：メタルフェイスシール（MFS継手：VCR相当）、ダブルフェルール継手
流量範囲　　　：15～9,000SLPM
最高使用圧力　：～21MPa（20℃時）：エレメント金属焼結タイプ
　　　　　　　：～0.98MPa（20℃時）：エレメントPTFE膜タイプ

●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

価格情報	【エレメント：SUS316L金属焼結】定格流量：60SLPM、1/4"VCRタイプ　SS-A60-4VM　16,310円定格流量：600SLPM、1/2"VCRタイプ　SS-H600-8VM　42,660円【エレメント：PTFE膜】定格流量：50SLPM、1/4"VCRタイプ　ST-A50-4VM　22,580円定格流量：1500SLPM、3/4"VCRタイプ　ST-C1500-12VM　174,540円上記以外のサイズ、接続などの各種ラインナップもございます。
納期	お問い合わせください ※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	メーカー名：TK-FUJIKIN社
用途／実績例	【用途】半導体製造用プロセスガス向け【実績】半導体製造装置、ガス供給設備、ガスBOXなどのガス制御システム

カタログ半導体プロセスガス用　インラインフィルター

取扱企業半導体プロセスガス用　インラインフィルター

バリューインパクト有限会社

１．各種ステンレス製バルブ、フィッティングの輸入・販売（下記メーカーの国内輸入元）　ーTK-FUJIKIN社(韓国) 　ーDK-LOK社(韓国) 　ーEVERFIT TECHNOLOGY社(台湾) 【取扱製品】自動溶接継手、ダブルフェルール継手、圧力調整器、インラインガスフィルター、ダイアフラムバルブ、プラグバルブ、ボールバルブ、ベローズバルブ、ニードルバルブ、メータリングバルブ、リリーフバルブなど２．ガス配管、ガス供給設備の設計、製作