株式会社栗田製作所　会社案内

PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。
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高圧パルス電源は、負荷短絡時にも丈夫な真空管を採用している為、耐久性に優れています。高速立上り・マイクロパルスが可能です。パルス幅、繰返し周波数と可変でき、用途に応じて容易に設定可能です。大気圧･真空･液中、あらゆる負荷条件下で使用可能な電源を取り揃えています。
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液中プラズマ発生装置は卓上サイズで簡単にソリューションプラズマの実験を行うことが可能です。液中プラズマを発生させ、新しい材料合成や 加工場を作り出せる、新たなプラズマ 応用技術です。ナノ粒子の生成や、カーボンナノチューブへの水溶性の付与など様々な効果が発揮されています。液体からの二次電子やプラズマと液体との連成反応により放電が持続します。また液体中での放電の為、使用する液体の 化学反応性を利用することも可能です。パルスグロー放電なので、低温で処理が可能です。アーク放電に比べ、電極の損傷が大幅に低減できるため、長時間運転を実現しました。
ソリューションプラズマの発生にはパルス電源を使用し、 液体の導電率と電極間距離を調整する事により、極めて少ないエネルギー（数百W）からソリューションンプラズマを発生させることができます。
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プラズマイオン注入・成膜装置（Plasma Based Ion Implantation & Deposition:PBII&D）とは株式会社栗田製作所と産業技術総合総合研究所関西センター殿と共同で開発し、特許を取得特許第3555928号）した全く新しいプラズマイオン注入技術です。DLCコーティングも可能です。取扱いが容易な為、生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。
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PEKURIS COATは栗田製作所のDLCコーティングの総称です。幅広いラインナップの中から、最適なコーティング皮膜をご提供致します。PEKURIS COATは用途に応じて、ワーク（基材）へ最適な条件でコーティングを行うことが可能です。処理可能な基材は、鉄系金属はもちろん、ステンレス・アルミニウム等の低融点金属、チタン等幅広い材質へ可能で、樹脂やゴム・ガラス･セラミックス等の絶縁物でも処理が可能です。またこれら以外の用途開発用の試作加工も承っております。
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