アールエムテック株式会社
最終更新日：2019-09-20 10:23:44.0
GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置
基本情報GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置
超コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。平坦化加工と無損傷加工を実現！ 表面改質、高品位薄膜形成などに最適です
本装置は、数十～数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム（GCIB）を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来ます。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能です。
【特長】
■ナノオーダーの微細加工に適しています
■Ra 数ナノメートルの平坦化加工
■反応性ガス処理対応
■基板表面温度１００℃以下での加工可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置
本装置は、数十～数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム（GCIB）を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来ます。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能です。
【特長】
■ナノオーダーの微細加工に適しています
■Ra 数ナノメートルの平坦化加工
■反応性ガス処理対応
■基板表面温度１００℃以下での加工可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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