semiconwest2009レポート

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基本情報semiconwest2009レポート

semiconwest2009レポート

アメリカで開催された SEMICON（R）West 2009 に出展しました！

セミコン・ウエストは半導体製造装置・材料など半導体関連産
業分野における世界最大級の専門見本市で、毎年、世界中か
ら関連企業が多数集まり、それぞれの主力製品や技術の結晶
を展示しています。

今回の展示会の様子と出展内容を、レポートとしてまとめ、
無料でご提供いたします。

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＝＝＝＝＝詳細はダウンロードもしくはお問い合わせ下さい＝＝＝＝＝

カスタマイズ静電チャック

当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を
提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。

ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と
設計技術により、好適な製品仕様を提案。

また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。

【オプション対応例】
■ヒーター内蔵
・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと
　融合させることで、高精度の温度制御が可能
■高温対応
・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の
　高温環境での使用が可能
■異常放電対策
・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、
可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。

薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、
ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。

また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。
大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。

【特長】
■クリーンデバイス
■低ダメージ
■真空下でも使用可能
■低消費電力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。（詳細を見る）

取扱会社 semiconwest2009レポート

株式会社クリエイティブテクノロジー

●静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ●その他吸着物搬送機器の開発・製造・販売 ●静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ●静電チャック、電源、ロボット、その他周辺技術・機構の一括サポート

公式サイト