マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。
一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。
フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル（1ミクロン以下）の露光精度を実現。
試作が容易になり、時間・コストの削減に貢献します。

【特徴】
○高価なマスクが不要となる
○マスクデータの外部流出防止
○描画パターンの設計から描画までの時間短縮
○描画パターンの設計変更が容易
○各基板の歪みに合わせた露光パターンの補正等が可能

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