日本フッソ工業株式会社
最終更新日:2016-11-08 17:29:28.0
セミコン用のコーティング
基本情報セミコン用のコーティング
フッ素樹脂コーティング講座「セミコン用のコーティング」
セミコン用のコーティングについて分かりやすく解説しています。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
フッ素樹脂コーティング講座 セミコン用のコーティング
セミコン用途としてのフッ素樹脂コーティングの対象は、主に半導体製造装置部品への適用となります。また、製造装置の種類としては、洗浄装置、CMP装置、メッキ装置、搬送・固定用途、廃ガス・廃液系に分類されます。
フッ素樹脂コーティングは熱可塑性樹脂のため、溶融焼き付けによって施工されていきます。つまり、表面は溶融によってレベリングしており、パーティクルが入り込める隙間は実質的には存在しません。
同様に、レベリングした表面は、フッ素樹脂の非粘着性を最大とし、洗浄液の付着・持ち出しを軽減し、洗浄効率を上昇させることができます。
以上より、フッ素樹脂コーティングは洗浄装置に適した表面処理と考えています。また、実際にいろいろな装置で使用されています。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 セミコン用のコーティング
特殊エンジニアリングプラスチック特にフッ素樹脂、ポリイミド、PPS等を機器、部品等に焼き付け処理することによりその機器、部品の問題点を解決し、ポテンシャルを大きく向上させます。
セミコン用のコーティングへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。