株式会社リンテック東京営業所
最終更新日：2020-05-12 14:34:44.0
低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
基本情報低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
○RoHS対応
○全流量域高速応答 1SEC以内
○短納期対応モデル
○高精度（±1％F.S.）モデル
○ラバーシール採用の低コストモデル
○RS-485デジタル通信やマルチレンジ機能を搭載（オプション）
低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。
ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。
【特長】
○ラバーシール採用により低価格での提供を実現
○流量精度は±1.0%F.S.を保証
○幅広い流量レンジに対応
○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能
（ガス種、F.S.、流量を変更可能）
○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 低価格マスフローコントローラ MC-10RC series
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