株式会社リンテック東京営業所
最終更新日：2020-05-12 14:41:00.0
低差圧動作タイプマスフローコントローラ MC-3000S series
基本情報低差圧動作タイプマスフローコントローラ MC-3000S series
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能
○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載
低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。
【特長】
○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能
○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 低差圧動作タイプマスフローコントローラ MC-3000S series
低差圧動作タイプマスフローコントローラ MC-3000S seriesへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
