SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。
【特長】
○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能
○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能
○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | MC-3000S |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 |
カタログ低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
取扱企業低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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