サニー・トレーディング株式会社営業本部
最終更新日：2021-10-05 13:15:44.0
半導体用超高純度ダイアフラムポンプ
基本情報半導体用超高純度ダイアフラムポンプ
クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！特別に設計製作した半導体用エアー駆動式ダイアフラムポンプ
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
半導体用超高純度エア駆動ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。
製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。
全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」、「SEMI H」、接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」、SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。
【特長】
○金属を一切使用していない
○接液部にO-リングを不使用
○駆動エア部に潤滑油は不使用
○最高使用温度200℃。
〇異なるアプリケーションに対応する為、
異なる材質で設計された4種類のポンプ
○保守修理が極めて簡単
→他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的
半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ
半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。
製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。
全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。
接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」。
SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。
【特長】
○金属を一切使用していない
○接液部にO-リングを使用していない
○駆動エア部に潤滑油は不使用
○最高使用温度200℃
〇異なるアプリケーションに対応する為、異なる材質で作成された4種類のポンプ
〇オプションにて、脈動吸収ダンパー、ダイアフラム破損検知、ストロークカウンター、Flareteck接手、VCR接手
○保守修理が極めて簡単
→他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
防爆仕様や各種ケミカル対応可能！エア駆動ダブルダイアフラムポンプ
「DELLMECO」（デルメコ）のダイアフラムポンプは、水から磨耗性、酸・アルカリ流体、粒子が混入している高粘度流体まで送液可能です。
また、エア駆動式でドライ運転も可能です。
駆動エアの調整により流量・吐出圧のコントロールも簡単に出来ます。
【掲載内容】
■ポンプの構造・特長
■ポンプの取付方法
■ポンプサイズの選定・取付推奨例
■ダイアフラムポンプ
■サニタリーポンプ ほか
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 半導体用超高純度ダイアフラムポンプ
サニー・トレーディングは世界中の高性能で確かな製品を通じ、 お客様の求める価値を万全な技術とサービスでお届け致します。 1． アメリカ及びヨーロッパ各社の工業製品・部品の紹介及び輸入販売 液体移送用のダイアフラムポンプやドラムポンプ 導電率計や比抵抗計・薬液濃度計にガス検知器 ガスや液体の圧力を上げるブースターポンプやロケットに搭載されている電磁弁や燃料配管など 世界中の各種メーカーの商品を、販売代理店として取り扱っております。詳しくは、製品紹介をご覧下さい。 2．納入製品の技術サポートとアフターフォロー 仕様に適した商品選択・打合せや、納入後のメンテナンス・機器構成など、商品性能を最大限に生かすサポートを致します。 3．工作機械類の設計及び製造並びに販売 商品を単体販売するだけでなく、仕様に応じて、各種装置を設計･製作致します。
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