サニー・トレーディング株式会社半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

最終更新日：2019-08-29 17:21:47.0
印刷用ページ

クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！特別に設計された半導体用ダイアフラムポンプ

半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。
製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。
全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。
接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI E」。
SUS316L製の「SEMI S」の4タイプをご用意しております。

【特長】
○金属を一切使用していない
○接液部にO-リングを使用していない
○駆動エア部に潤滑油は不使用
○最高使用温度200℃
〇異なるアプリケーションに対応する為、異なる材質で作成された4種類のポンプ
〇オプションにて、脈動吸収ダンパー、ダイアフラム破損検知、ストロークカウンター、Flareteck接手、VCR接手
○保守修理が極めて簡単
→他の競合製品に比べて補用部品点数が40％と少なく経済的

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.sunnyltd.co.jp/page13

基本情報半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

【製作機種概要】
[機種：SEMI T]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：酸及び苛性
[機種：SEMI H]
○材質
→センターハウジング：TFM/PTFE
→サイドハウジング：PTFE
○口径：10，20
○流体：高温度の酸及び苛性
[機種：SEMI E]
○材質
→センターハウジング：UPPE
→サイドハウジング：UPPE
○口径：10，20，50，100
○流体：スラリー
[機種：SEMI S]
○材質
→センターハウジング：SUS316L
→サイドハウジング：SUS316L
○口径：20，50
○流体：溶剤

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
型番・ブランド名	DELLMECO
用途／実績例	・酸、苛性・高温の酸、苛性・スラリー・溶剤 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログ半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

取扱企業半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

サニー・トレーディング株式会社営業本部

サニー・トレーディングは世界中の高性能で確かな製品を通じ、お客様の求める価値を万全な技術とサービスでお届け致します。 1．アメリカ及びヨーロッパ各社の工業製品・部品の紹介及び輸入販売液体移送用のダイアフラムポンプやドラムポンプ　導電率計や比抵抗計・薬液濃度計にガス検知器ガスや液体の圧力を上げるブースターポンプやロケットに搭載されている電磁弁や燃料配管など世界中の各種メーカーの商品を、販売代理店として取り扱っております。詳しくは、製品紹介をご覧下さい。 2．納入製品の技術サポートとアフターフォロー仕様に適した商品選択・打合せや、納入後のメンテナンス・機器構成など、商品性能を最大限に生かすサポートを致します。 3．工作機械類の設計及び製造並びに販売商品を単体販売するだけでなく、仕様に応じて、各種装置を設計･製作致します。