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最終更新日:2016-10-31 13:19:23.0

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【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価

基本情報【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価

コンタクト電極/SiC層の界面の相同定・元素分布評価

分析の事例をご紹介します

【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価

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市販のSiCパワーMOS FET素子の解析事例をご紹介します。
SiC材料では、SiだけでなくCを含めた系での材料制御が必須となり、従来のSi半導体の製造方法と違いがあります。コンタクト電極とSiC層のオーミック接合形成プロセスにおいて、TEMを用いたEDX/EELS分析および電子回折から、Cを含めた元素分布や結晶相を評価しました。 (詳細を見る

取扱会社 【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価

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