一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2023-03-29 16:49:53.0
【分析事例】SRAの濃度換算について
基本情報【分析事例】SRAの濃度換算について
SRA:広がり抵抗測定法
分析の事例をご紹介します
【分析事例】SRAの濃度換算について
1. 斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗(Ω)を測定する
2. 標準試料の測定より校正曲線*)を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗(Ω・cm)に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う
*)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります
3. 比抵抗とキャリア濃度の関係式*)を用いてキャリア濃度(/cm3) を算出する (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】SRAの濃度換算について
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