マイクロチャンバー

超高真空・極低酸素雰囲気に対応！

本製品は、高温、超高真空及び極低酸素雰囲気対応のステンレス製
マイクロチャンバーです。

4組の測定プローブ（深針）は、3軸（X,Y,Z）ステージにより高精度に
位置決めが可能であり、ぺルチェ素子やマイクロヒーターを組込み、
試料の加熱冷却が可能です。

付属ターボ分子ポンプにより到達真空1×10E-6Paの高真空雰囲気が
得られます。

【特長】
■”リークゼロ”の超高真空（1x10E-6Pa）に対応
■各種デバイスやセンサー開発に活躍
■試料の加熱冷却が可能
■3軸ステージ（X，Y，Z）により高精度な測定プローブの位置決めが可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。