株式会社クォークテクノロジー 製品カタログ

当カタログは、主に紫外線照射装置製造販売・露光装置製造販売・その他、
各種石英、セラミック商品の取扱いを行う株式会社クォークテクノロジーの
製品カタログです。

半導体製造装置などの各種フィルム表面改質装置などに利用される「エキシマ
照射装置」をはじめ、「UV-LED照射装置」や各種測定器を掲載しています。

お客様の用途に応じて様々な製品をお選び頂けます。

【掲載内容】
■会社概要
■UVスペクトルと用途
■技術原理
■エキシマ光の効果
■エキシマ照射装置
■UV-LED照射装置
■各種測定器
■製品ラインアップ

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー
真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な
励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置
などに利用されています。

準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、
赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。

また、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。

その他、高効率洗浄により、コンベア搬送中の照射も可能です。

エキシマ照射装置は、特長の異なるフラットタイプも取り扱っておりますので、
用途に合わせてお選び下さい。

【特長】
■準単色光
■波長172nm
■瞬時点灯点滅
■コンベア搬送中照射も可能
■ランプ本数低減、付帯設備不要

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株式会社クォークテクノロジーのUV-LED照射装置は、ランプに比べ、寿命が
長く、消費電力が低く、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理
できる装置です。

照射ムラが軽減され、冷却ユニット内臓により照度が安定し、ワークへの
温度上昇がなく低温硬化が可能です。

また、自由度のある照射装置の設計が可能で、従来のスポットでは不可能な
大型照射面の照射を可能にします。

【特長】
■照射ムラが軽減
■冷却ユニット内臓
■伝送材料を使わない直接光源
■低電力、長寿命
■メンテナンスフリー

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株式会社クォークテクノロジーの照度モニタは、エキシマ紫外線からLED紫外線
まで各種対応しています。

計測波長によって3タイプのモニタがあり、それぞれ異なる波長の計測に
使用します。

低価格で、操作が簡単かつコンパクトサイズなので、是非お求め下さい。

【特長】
■エキシマ紫外線からLED紫外線まで対応
■簡単な操作
■コンパクトサイズ
■低価格

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『携帯式接触角計』は、表面処理を行う前後のウェーハ、フォトマスク等の
測定対象物の表面に置くだけで測定できる測定器です。

測定時に検体をカットする必要がなく、表面領域が小さな検体や、
曲面な検体であっても測定することができます。

当計器を使って測定する際、測定対象物である検体は、計器の測定部開口領域が
10mm×16mmより大きいことが必要です。

【特長】
■測定対象物の表面に置くだけで測定可能
■検体カットの必要がない
■表面領域が小さくても測定可能
■表面領域が曲面であっても測定可能

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