「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集

光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！

当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの
サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子
分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。

シリコン基板の上にシリコン酸化膜とチタン酸化膜の積層膜をESCA
（Quantum-2000）によって分析した結果を掲載しております。

【掲載概要】
■ESCAによる多層膜の深さ分析の分析結果

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。