株式会社イオンテクノセンター 「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集
- 最終更新日：2019-04-02 11:00:23.0
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光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！
当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの
サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子
分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。
シリコン基板の上にシリコン酸化膜とチタン酸化膜の積層膜をESCA
（Quantum-2000）によって分析した結果を掲載しております。
【掲載概要】
■ESCAによる多層膜の深さ分析の分析結果
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集
【掲載内容】
■分析結果
■スパッタリングサイクル毎のシリコンのスペクトルを表示した図
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集
取扱企業「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集
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1.受託物理分析 2.イオン注入加工
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