『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが
できる装置です。

メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、
これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。
しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、
正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、
上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの
ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。
本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。

【特長】
■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式
■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる
■メンテナンス性など考慮しコントロール別置きタイプも選択できる

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。