バリューインパクト有限会社
最終更新日：2020-12-08 15:47:11.0
TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター
基本情報TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター
バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 高純度ガス用インラインガスフィルター製品を掲載しています。
半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。
【仕 様】
粒子捕捉率 ：99.9999999%
ろ過精度 ：0.0025μｍ
ハウジング ：SUS316L（シングルメルト材 / ダブルメルト材）
エレメント ：金属焼結タイプ、PTFE膜タイプ
内面仕上げ ：≦ Ra 5μ inch（0.127μｍ）
多孔率 ：60～70%（単位面積当たりの隙間の割合）
接続形状 ：メタルフェイスシール（MFS継手：VCR相当）、ダブルフェルール継手
流量範囲 ：15～9,000SLPM
最高使用圧力 ：～21MPa（20℃時）：エレメント金属焼結タイプ
：～0.98MPa（20℃時）：エレメントPTFE膜タイプ
【特 長】
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
半導体プロセスガス用 インラインフィルター
半導体製造プロセスガス向けに開発。
複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！
高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。
フィルターエレメントは、2種類。
・SUS316L材金属焼結タイプ
・PTFE膜タイプ
をガス種に応じて選定いただけます。
メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので
機器選定にご利用ください。
【特 長】
・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec）
・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出）
・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包
・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能
・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手
現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は
株式会社イプロスのAIによって表示されております。 （詳細を見る）
取扱会社 TK-FUJIKIN社製 超高清浄インライン ガスフィルター
１．各種ステンレス製バルブ、フィッティングの輸入・販売 （下記メーカーの国内輸入元） ーTK-FUJIKIN社(韓国) ーDK-LOK社(韓国) ーEVERFIT TECHNOLOGY社(台湾) 【取扱製品】 自動溶接継手、ダブルフェルール継手、圧力調整器、インラインガスフィルター、ダイアフラムバルブ、プラグバルブ、ボールバルブ、ベローズバルブ、ニードルバルブ、メータリングバルブ、リリーフバルブなど ２．ガス配管、ガス供給設備の設計、製作
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