『電解メッキ』加工技術紹介

6インチウエハー対応のメッキシステム導入！数μｍの膜を形成可能な加工技術

『電解メッキ』は、イオン化した金属を含む水溶液に基板を入れ、
液中に電気を流して基板の表面に金属を析出させる加工技術です。

蒸着による成膜は通常1μm以下ですが、メッキでは数μｍの膜を形成
可能です。

また、当技術の応用により、微細なメッキパターンを形成する
「セミアディティブ法」という技術もございます。

【特長】
■液中に電気を流して基板の表面に金属を析出
■精密加工の分野では金属膜の厚みをかせぐために使用可能
■数μｍの膜を形成可能
■微細なメッキパターンを形成する「セミアディティブ法」に応用可能
■6インチウエハー対応のメッキシステムを導入

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。