フォトプレシジョン株式会社 『電解メッキ』加工技術紹介

6インチウエハー対応のメッキシステム導入!数μmの膜を形成可能な加工技術

『電解メッキ』は、イオン化した金属を含む水溶液に基板を入れ、
液中に電気を流して基板の表面に金属を析出させる加工技術です。

蒸着による成膜は通常1μm以下ですが、メッキでは数μmの膜を形成
可能です。

また、当技術の応用により、微細なメッキパターンを形成する
「セミアディティブ法」という技術もございます。

【特長】
■液中に電気を流して基板の表面に金属を析出
■精密加工の分野では金属膜の厚みをかせぐために使用可能
■数μmの膜を形成可能
■微細なメッキパターンを形成する「セミアディティブ法」に応用可能
■6インチウエハー対応のメッキシステムを導入

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報『電解メッキ』加工技術紹介

【応用】
■三次元フォトリソへの応用
■セミアディティブ法への応用 など

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カタログ『電解メッキ』加工技術紹介

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