『高アスペクト比レジスト』加工技術紹介

アスペクト比1：5の加工実績！幅広い分野で使用できます！

当社では、パターン線幅と膜の厚さ（＝高さ）の縦横比が高い
『高アスペクト比レジスト』による加工が可能です。

アスペクト比1：5の加工実績がございます。
当技術により、レジストパターンは単なる防御膜としてだけではなく、
微細な立体構造そのものとなり、使用用途も広がりました。

【特長】
■アスペクト比1：5の加工実績
■幅広い使用用途

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。