一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日：2023-04-13 16:12:41.0
【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価_C0462
基本情報【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価_C0462
XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能
薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。
今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。
本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。
【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価
薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。
今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。
本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。
測定法：XAFS・XPS
製品分野：太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイス
分析目的：電子状態評価
詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価_C0462
受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！ 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。
【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価_C0462へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
