【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。
今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。
本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。
測定法：XAFS・XPS
製品分野：太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイス
分析目的：電子状態評価

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基本情報【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

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用途／実績例	太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です

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