小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ
1基搭載した小型スパッタ装置です。

シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。
基板上下機構を採用し、ターゲットと基板間の距離を任意に設定できます。

基板加熱を高温で行えるほか、電気とガスのみでの運転や、スパッタアップ
とスパッタダウンの組み替えなども可能です。

【特長】
■シンプル設計で省スペース
■ターゲットと基板間の距離を任意に設定可能
■高温での基板加熱が可能
■チラーを標準装備

※詳しくはPDFをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。