mini CORI-FLOWコリオリ式マスフローメータ/コントローラ　ML120

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。
コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。

●世界最小のコリオリ式流量調節計
●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が
　変化しても影響されない仕組み。
●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲
●液体及び気体に適用可能
●ヨーロッパで多数実績あり

・・・その他多くの特徴があります。

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『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが
できる装置です。

メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、
これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。
しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、
正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、
上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの
ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。
本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。

【特長】
■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式
■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる
■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる

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「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。
電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。
ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。
アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま
す。

【特長】
○簡単、コンパクト構成；使い易い
○液体ソースの昇圧不要
○コンパクト完全分給システム
○直接質量計測及び制御

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「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。
センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。
従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。

【特長】
○本体直結調節弁
○高速応答

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超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。
例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。
このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。
従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。
「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。

【適用例】
○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測
○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み

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蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。
「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。
“マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。
この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。

【適用例】
○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用
→容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる
○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用
→高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供

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「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。
センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。
従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。

【特長】
○本体直結調節弁
○高速応答

★ナノ学会第16回大会に出展します！
日時：2018年5月10日（木）～12日（土）
会場：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 武田ホール 5F
ぜひこの機会にお越しください。

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