シグマ光機株式会社
最終更新日：2013-08-23 16:52:11.0
FS-1005Zカタログ
基本情報FS-1005Zカタログ
FS-1005Zカタログ
0.1/0.05μm分解能の制御を可能にした
Z軸フィードバックステージ
【特徴】
○独自開発のニアスケールを内蔵
○テーブルサイズ：120mm×120mm
○テーブル移動量：5mm・10mm
○繰返し位置決め精度：±0.1um,±0.2um
○最小分解能：0.05um,0.1um
○最大移動速度：10mm/sec
○ボールネジ：φ6mm、リード1mm
○移動ガイド：LMガイド + クロスローラガイド
○駆動モータ：□28mm‐5相ステッピングモータ
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。
『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。
独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ
(*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ （詳細を見る）
取扱会社 FS-1005Zカタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
FS-1005Zカタログへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
