【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高いZ軸用位置決めステージ！
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。
『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。
独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-411との組み合わせ
(*2)フィードバックステージコントローラFC-111との組み合わせ
基本情報Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z
最小分解能：50nm or 100nm
最大移動速度：5mm/sec（FC-411 or FC-111使用時）
ストローク：5mm or 10mm
対応コントローラ：FC-411 or FC-111
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1005Z / FS-1010Z |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログZ軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z
取扱企業Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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