シグマ光機株式会社
最終更新日：2013-08-23 16:46:59.0
FS-3150Xカタログ
基本情報FS-3150Xカタログ
FS-3150Xカタログ
0.1/0.05μm分解能の制御を可能にした
フィードバックステージ
【特徴】
○ロングスケールを採用
ラインナップとして200mm/300mm/400mmのロングストロークをご用意
○テーブルサイズ：160mm×160mm
○最小分解能：0.1μm /0.5μm
○最大移動速度：20mm/sec
○移動ガイド：LMガイド
○駆動モータ：5相ステッピングモータ PK545-B(オリエンタル)
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。
ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ１台で行うことができます。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ （詳細を見る）
取扱会社 FS-3150Xカタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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