一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2017-09-21 13:25:47.0
【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析
基本情報【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析
最表面、単原子層の水素をTDSで評価可能です
分析の事例をご紹介します
【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析
TDSは試料を昇温し、脱離したガスをイオン化して質量分析を行う手法です。高真空中(1E-7 Pa)で、質量電荷比(m/z) 2~199について分析可能です。
今回は水素終端処理を施したSiチップについて、TDS分析を実施した例をご紹介します。TDSにて、水素終端の水素の脱離を捉えることができました。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】水素終端ウエハの脱ガス分析
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