株式会社リンテック東京営業所
最終更新日：2020-05-12 14:45:47.0
高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
基本情報高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラー
(ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応
高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。
【特長】
○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ
(ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
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