デバイスネットマスフローコントローラ　MC-5000L series

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ

【特長】
○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○コネクタ方式（横・上）選択可能
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス　インターフェイス対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）