株式会社リンテック デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ

【特長】
○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
  (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile)
○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応)
○+11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)
○コネクタ方式(横・上)選択可能
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L

○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
  (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile)
○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応)
○+11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)
○コネクタ方式(横・上)選択可能
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応

価格情報 -
価格帯 10万円 ~ 50万円
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 MC-5000L
用途/実績例 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。

カタログデバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L

取扱企業デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L

クリーンルーム.jpg

株式会社リンテック 東京営業所

気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作

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