ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。
制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。

【特長】
○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能
○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能
○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能
○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、
　 実質的にリークフリー
○パーティクルフリーの材質、構造設計

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）