枚葉式ウェット処理装置（量産用）

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基本情報枚葉式ウェット処理装置（量産用）

高圧ジェットを使用した枚葉（スピンナー）型リフトオフ装置

通常ノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けメタルリフトオフ処理装置。
リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※リフトオフだけでなく、洗浄やレジスト剥離装置としても転用が可能です。

量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

【特長】
■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上)

※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。（詳細を見る）

取扱会社枚葉式ウェット処理装置（量産用）

日精株式会社本社

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