量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』日精

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

【特長】
■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減
■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上)

※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

基本情報量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

【仕様】
■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください）
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能

価格帯	5000万円 ~ 1億円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	TWPシリーズ
用途／実績例	光デバイス（LED等）、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等

取扱企業量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

日精株式会社本社

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