枚葉式ウェット処理装置（セミオート機）

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基本情報枚葉式ウェット処理装置（セミオート機）

高圧ジェットを使用した枚葉（スピンナー）型リフトオフ装置

■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください）
■ワークは作業者による手載せ
■薬液昇温機能有り
■防爆ガラス等安全仕様有り
■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。
コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

【特長】
■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較）
■1チャンバー完結
■薬液の裏面廻り込み防止（特許）
■液・ミストの飛散、再付着防止

※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。（詳細を見る）

取扱会社枚葉式ウェット処理装置（セミオート機）

日精株式会社本社

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