研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』日精

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。
コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

【特長】
■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較）
■1チャンバー完結
■薬液の裏面廻り込み防止（特許）
■液・ミストの飛散、再付着防止

※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

基本情報研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

【仕様】
■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください）
■ワークは作業者による手載せ
■薬液昇温機能有り
■防爆ガラス等安全仕様有り
■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）

価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	TWPsa
用途／実績例	光デバイス（LED等）、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等デバイス製造設備レジスト、剥離液等　材料メーカー様の開発評価設備

取扱企業研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

日精株式会社本社

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