株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)新本社
最終更新日：2020-08-18 11:50:14.0
ベローズ・メタルダイヤフラム seriesNo.710-01-Q
基本情報ベローズ・メタルダイヤフラム series
超高純度用、ベローズバルブ及びメタルダイヤフラムバルブです。
【型式】グローブタイプ・アングルタイプ 【構造】ベローズバルブ・ダイヤフラムバルブ【特長】1．スイッチベロウズバルブ（90度開閉スイッチ式）は、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。2．ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
バルブ【ベローズバルブ】ベローズバルブ(FS)
<特長>
1.洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。
2.メタルガスケットシールにより外部リークがありません。
3.接続タイプが豊富に揃っています。
4.オプションでUP処理も可能です。 （詳細を見る）
株式会社フジキン『メタルダイヤフラムバルブ』
外部シールに金属製ダイヤフラムを使用した、いわゆるパックレス形
(グランドパッキンの代わりにベローズ若しくはダイヤフラム又は
その他の方法を用いて流体の漏れを完全に阻止する
グランド部のシール形式。)バルブで、従来のパックレス形バルブの
特長である高気密性に加え、
高耐久性とデッドスペースフリーを付加しており
高純度流体への使用に最適なバルブです。
（詳細を見る）
株式会社フジキン『ベローズバルブ』
外部シールに金属製ベローズを使用した、いわゆるパックレス形
(グランドパッキンの代わりにベローズ若しくはダイヤフラム又は
その他の方法を用いて流体の漏れを完全に阻止する
グランド部のシール形式。)バルブで、危険性、可燃性ガス、蒸気、
熱媒及び真空ラインに適したバルブです。
高圧～真空・高温～超低温に適用するベローズバルブは、原子力・
火力・半導体・化学及び真空等の幅広い「漏れてはならない分野」で
ご使用されています。 （詳細を見る）
バルブ【メタルダイヤフラムバルブ】メタルダイヤフラムバルブ(F)
<特長>
1.メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。
2.接続タイプが豊富に揃っています。
3.オプションでUP処理も可能です。 （詳細を見る）
取扱会社 ベローズ・メタルダイヤフラム series
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞ 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 ＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞ フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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