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最終更新日:2024-02-13 16:22:32.0

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マスフローコントローラー FCS Thermal SeriesNo.751-01-U

基本情報マスフローコントローラー FCS Thermal Series

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

【特長】1.アナログ制御(0-5VDC、4-20mA)製品に加えて、各種デジタル制御(RS485、DeviceNetTM、EtherCAT、 PROFIBUS)対応製品もラインアップ 2.さらなる高精度化のご要求に対して、±1% S.P.(設定値に対して±1%以内)を保証する高精度製品もラインアップ

システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

システム【流量制御機器】FCS Thermal Series 製品画像

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー

【特徴】
○高精度
 流量精度±1%を実現
○高性能センサ
 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
 安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
 高速応答ピエゾアクチュエータを採用
 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
 パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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株式会社フジキン『マスフローコントローラ』

株式会社フジキン『マスフローコントローラ』 製品画像

フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。 (詳細を見る

取扱会社 マスフローコントローラー FCS Thermal Series

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。

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